阀体

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江苏先导微电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种阀体包括安装座、驱动件、活塞头及防护件；驱动件与安装座连接；驱动件包括驱动部及伸缩部；活塞头与伸缩部连接；防护件包括第一连接块、第二连接块及连接第一连接块与第二连接块的波纹管；第一连接块与活塞头连接，第二连接块与驱动部连接，波纹管设置在第一连接块与第二连接块之间，波纹管套设在伸缩部的外侧。通过设置波纹管套设在伸缩部外侧，并将第一连接块与活塞头连接，第二连接块与驱动部连接，实现防护件对活塞头与驱动件连接位置的防护，避免特气通过接合位置处渗入零部件内，进而避免阀体被特气腐蚀，提高阀体使用的可靠性，防止阀体因为腐蚀而出现漏气的情况。