一种废气处理用进气装置

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上海高笙集成电路设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种废气处理用进气装置，包括过气单元，所述过气单元包括过气腔、多个第一废气管和第二废气管，所述第一废气管和第二废气管的第一端均与过气腔连通，所述第一废气管的第二端包括第一支管和第二支管，所述第一支管与废气气源连通，所述第二废气管的第二端向外延伸且可与另一进气装置中的第二支管连通。本实用新型结构合理、运行安全性好且噪声小。