一种硅片切水冷风刀

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苏州普伊特自动化系统有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种硅片切水冷风刀，包括风刀腔体，设置在风刀腔体出风口一侧的匀流板，以及设置在匀流板出风口一侧的风刀板；风刀腔体的进风侧均匀设置有至少两个气管接头；匀流板的出风侧等间距设置有多个匀流口；风刀板的出风侧等间距设置有多个吹气孔。本实用新型提供的硅片切水冷风刀，其风刀腔体、匀流板和风刀板组装为一体，气体经均分分布的气管接头流入风刀腔体并进入匀流板实现一级匀流；气体经过匀流板出风侧均匀设置的匀流口进入风刀板实现二级均流，风刀板的吹气孔均匀分布，气体均匀出气实现三级均流，从而极大提高了风刀出气的均匀性及切水效果。