水汽处理设备及系统

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嘉兴阿特斯技术研究院有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种水汽处理设备及系统，水汽处理设备包括：处理室、真空产生装置、冷却流道、及冷却源。其中，处理室具有一用于收容载板的腔体；真空产生装置与腔体相连通；冷却流道形成于处理室的侧壁内，冷却流道包括流道入口和流道出口；冷却源与流道入口相连通，用于向冷却流道中提供冷却介质。本实用新型提供一种水汽处理设备及系统，通过冷却源和真空产生装置，使得处理室内部处于低温低压状态，能够使用较短的时间就能去除水汽，去除水汽所消耗的能量较低，并且不会对载板表面产生不良影响。