积分球档位切换装置及积分球检测装置

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矽电半导体设备(深圳)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种积分球档位切换装置及积分球检测装置，应用于半导体芯片检测技术领域，包括安装组件、调光组件以及检测元件；所述调光组件包括调节盘、遮光板和纠偏结构，所述调节盘可转动地安装于所述安装组件，所述遮光板与所述调节盘连接并可随所述调节盘一起旋转，所述调节盘具有多个预设档位；所述安装组件设有纠偏结构，所述纠偏结构与调节盘传动配合；所述检测元件固定于所述安装组件上，所述检测元件能够识别所述档位调节装置所在档位。本实用新型通过设置预设档位和纠偏结构能有效提升积分球检测装置的档位切换效率，并能够自动回正，避免由于档位调节不当导致检测不到位状况。