一种新型卡盘制备装置

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四川川浦融科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种新型卡盘制备装置，包括：铍莫屏蔽罩；陶瓷绝缘板，所述陶瓷绝缘板固定连接于铍莫屏蔽罩内侧壁的下端；卡盘调平安装板，所述卡盘调平安装板布设于陶瓷绝缘板的上端外边缘；Chuck盘，所述Chuck盘布设于卡盘调平安装板的上端内边缘；吸附孔，所述吸附孔贯穿开设于Chuck盘的中部。以解决现有卡盘只是针对晶圆测试做出的设计，无对更小体形的载片进行真空吸附，也无法分别独立控制，导致传统的探针台无法对单独的裸片或者载片进行测试或者测试效率低下；而且传统卡盘的制作方式为单一的紫铜镀金盘或者不锈钢盘等在复杂的电磁干扰环境下会对测试结果有较大的干扰，甚至可能造成静电击穿等严重后果的问题。