一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装

专利主权项内容

1.一种COS芯片的外延表面缺陷失效分析工装，其特征在于，包括：
定位基板(1)和载物台(2)，所述定位基板(1)的顶部固定安装有安装壳(3)，所述安装壳(3)的内部设置有用于将载物台(2)进行水平方向位置调整的平移组件(4)，
设置在所述载物台(2)内部的空腔(5)，所述载物台(2)的顶部呈对称开设有两组通槽(6)，两组所述通槽(6)的内部分别滑动连接有连接块(7)，两组所述连接块(7)的顶部分别固定连接有夹块(8)；
设置在所述空腔(5)的内部用于将两组夹块(8)之间距离进行调整的调节组件(9)；
固定安装在所述定位基板(1)上表面一侧的金相显微镜(10)，所述定位基板(1)的顶部固定安装有匚型架(11)，所述匚型架(11)的顶部设置有用于将COS芯片进行抛光的打磨组件(12)。