一种集成测温湿度功能的热导式气体传感器

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海森赛尔(佛山)科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术， 本实用新型公开了一种集成测温湿度功能的热导式气体传感器，属于热导式气体传感器技术领域，包括衬底、支撑膜、热导传感单元、温度传感单元和湿度传感单元，衬底设置有空腔；支撑膜设置在衬底的上方并覆盖空腔；支撑膜与空腔重合的部分构成悬膜区；热导传感单元设置在支撑膜上且位于悬膜区；热导传感单元用于测量气体浓度；温度传感单元设置在支撑膜上且用于测量温度；湿度传感单元设置在支撑膜上且用于测量湿度。本实用新型的集成测温湿度功能的热导式气体传感器将热导式气体传感器和温湿度传感器的功能集于一体，有利于提高热导传感单元的测试精度并降低测试系统的复杂程度以便于使用。