一种密封器件内部气体分析仪

专利主权项内容

1.一种密封器件内部气体分析仪，连接质谱检测机构，用于将密封器件上样品的内部气体传输给质谱检测机构进行分析，其特征在于，包括进样机构、进样抽空结构、样品固定结构和针刺机构；
所述进样机构，用于所述样品的气体进样，与质谱检测机构连接，通过质谱检测机构对所述进样机构内的所述样品的内部气体进行检测分析；
所述进样抽空结构，连接所述质谱检测机构，用于对进样机构进行抽空；
所述样品固定机构，设置在所述进样机构上方，所述样品固定机构与所述进样机构之间设有可开合的密封结构，所述样品固定机构用于将样品固定放置在密封结构上；
所述针刺机构，竖直移动地设置在进样机构内，位于所述密封结构的下方，用于穿刺所述密封结构上的样品。