一种氨气分析装置及半导体工艺系统

专利主权项内容

1.一种氨气分析装置，其特征在于，包括：
载气供应模块，所述载气供应模块用于输入载气；
标气供应模块，所述标气供应模块用于输入标气、并与载气混合以得到基准气体；
原料气供应模块，所述原料气供应模块用于输入原料气体、并与载气混合以得到待测气体；
纯度分析模块，所述纯度分析模块分别与所述载气供应模块、所述标气供应模块、所述原料气供应模块连通，用于分析基准气体、待测气体以得到第一分析结果、第二分析结果，根据第一分析结果判断所述纯度分析模块是否正常工作，以及根据第一分析结果、第二分析结果判断待测气体的纯度是否符合标准；
回收模块，所述回收模块与所述标气供应模块、所述纯度分析模块连通，用于回收气体；
气体处理模块，所述气体处理模块分别与所述载气供应模块、所述标气供应模块、所述纯度分析模块连通，用于输出废气。