← 返回列表
抗蚀剂组合物及图案形成方法
申请人信息
- 申请人:张斌; 栾力冰; 关琬婷
- 申请人地址:100061 北京市东城区夕照寺街道3-2-1802
- 发明人: 张斌; 栾力冰; 关琬婷
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 抗蚀剂组合物及图案形成方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311450046.9 |
| 申请日 | 2023/11/2 |
| 公告号 | CN117631445A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | G03F7/004 |
| 权利人 | 张斌; 栾力冰; 关琬婷 |
| 发明人 | 张斌; 栾力冰; 关琬婷 |
| 地址 | 北京市东城区夕照寺街道3-2-1802; ; |
摘要文本
张斌; 栾力冰; 关琬婷获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种抗蚀剂组合物，包含经由酸作用而对显影液的溶解性产生变化的主体树脂(A)以及经由曝光而产生酸的光产酸剂(B)；所述主体树脂(A)包含具有通式(1)所示的结构单元的树脂结构，其中，通式(1)中R1表示氢原子或碳原子数为1～4的烃基；X表示直接键合，或碳原子数为1～8的亚烷基；通过合成了一种新型(甲基)丙烯酸酯单体，从而使得该抗蚀剂组合物的LWR等关键参数表现优异，可形成良好的矩形细微图案。。来自：
专利主权项内容
1.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，所述抗蚀剂组合物包含经由酸作用而对显影液的溶解性产生变化的主体树脂(A)以及经由曝光而产生酸的光产酸剂(B)，所述主体树脂(A)包含具有通式(1)所示的结构单元的树脂结构：其中，通式(1)中R表示氢原子或碳原子数为1～4的烃基；X表示直接键合，或碳原子数为1～8的亚烷基，R表示包含结构式(2)所示的结构单元：12其中，结构式(2)中R表示碳原子数为1～8的烷基、卤代烷基或硅烷基中的一种或多种组合；m，n为正整数，其中m介于1～4之间，n介于2～5之间；“*”表示键合位点。3。来自马克数据网