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一种磁控溅射镀膜传动装置
摘要文本
成都国泰真空设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种磁控溅射镀膜传动装置，包括驱动架导轨座和直线运动导轨座，驱动架导轨座上滑动设有工件驱动架，工件驱动架配设有用于驱使其沿着驱动架导轨座滑动的直线运动驱动机构；直线运动导轨座上滑动设有工件托盘，工件托盘与工件驱动架之间连接有联结臂，工件托盘上转动设有工件旋转架，工件旋转架配设有用于驱使工件旋转架在工件托盘上转动的自转驱动机构。本发明具备直线运动和自转运动这两种独立运动模式，直线运动和自转运动可以独立控制，直线运动和自转运动也可以互补干扰，其能够使产品的中心溅射膜厚和边缘溅射膜厚一致，得到的膜层厚度更加均匀，有效了解决大口径大球面基片的镀膜厚度不均匀的问题。 （更多数据，详见专利查询网）
专利主权项内容
1.一种磁控溅射镀膜传动装置，其特征在于，包括驱动架导轨座(12)和直线运动导轨座(8)，所述驱动架导轨座(12)上滑动设有工件驱动架(10)，工件驱动架(10)配设有用于驱使其沿着驱动架导轨座(12)滑动的直线运动驱动机构；所述直线运动导轨座(8)上滑动设有工件托盘(5)，所述工件托盘(5)与工件驱动架(10)之间连接有联结臂(7)，工件托盘(5)上转动设有工件旋转架(15)，工件旋转架(15)配设有用于驱使工件旋转架(15)在工件托盘(5)上转动的自转驱动机构。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种磁控溅射镀膜传动装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311682307.X |
| 申请日 | 2023/12/8 |
| 公告号 | CN117568771A |
| 公开日 | 2024/2/20 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 发明人 | 王伟; 卢成; 魏佳; 张勇军; 黄桂祥 |
| 地址 | 四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号 |