一种晶圆酸洗装置
申请人信息
- 申请人:南轩(天津)科技有限公司
- 申请人地址:301800 天津市宝坻区京津中关村科技城曙光路1号
- 发明人: 南轩(天津)科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆酸洗装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311785546.8 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN117457554B |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | H01L21/673 |
| 权利人 | 南轩(天津)科技有限公司 |
| 发明人 | 马胜南; 轩云喜; 陈永春; 任玉飞 |
| 地址 | 天津市宝坻区京津中关村科技城曙光路1号 |
摘要文本
本申请涉及半导体技术领域，且公开了一种晶圆酸洗装置，为了解决杂质与晶圆粘附，导致晶圆净化程度受影响的问题。本发明通过筒体与承载件的设置，利用承载件将装载有晶圆的花篮限制在一定的高度，使得晶圆表面脱附的杂质在沉积的过程中，会离开花篮所处的位置，进而减小杂质粘附在晶圆上的概率，使得晶圆的净化程度不易受影响。 来源：马 克 团 队
专利主权项内容
1.一种晶圆酸洗装置，其特征在于，包括：筒体(1)，所述筒体(1)的一侧密封转动安装有一号基座(2)，所述筒体(1)的另一侧密封转动安装有二号基座(3)，所述一号基座(2)、筒体(1)与二号基座(3)共同围成腔体，所述一号基座(2)内部的开口处密封设置有封闭门(4)，所述封闭门(4)的上侧与筒体(1)形成铰接；出液管(5)，所述筒体(1)内腔的下侧位置设置有出液管(5)，用于排空筒体(1)内腔的液体，所述筒体(1)内腔的上侧位置设置有进液管(6)，用于向筒体(1)的内腔输送液体；承载件(7)，设置在筒体(1)内腔的中下侧位置，所述承载件(7)的一侧与一号基座(2)形成固定连接，所述承载件(7)的另一侧与二号基座(3)形成固定连接，所述承载件(7)的上侧面放置有花篮(8)，用于装载晶圆；动力齿(9)，所述筒体(1)的周向外侧等距固定安装有动力齿(9)，所述动力齿(9)与动力机构形成传动连接；分隔机构，设置在筒体(1)的内腔，用于减缓接触花篮(8)液流的流速；所述分隔机构包括分隔件(10)与伸缩杆(11)，所述筒体(1)的腔体内且位于花篮(8)的外侧位置套接有分隔件(10)，所述分隔件(10)朝向二号基座(3)的一侧穿过二号基座(3)，所述分隔件(10)穿过二号基座(3)的部分与二号基座(3)形成密封活动连接，所述二号基座(3)背向筒体(1)的侧面且位于分隔件(10)的上侧位置固定安装有伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)的伸出端与分隔件(10)穿过二号基座(3)的一侧形成固定连接。 百度搜索马 克 数 据 网