一种冷场电子源的清洁方法及清洁系统
申请人信息
- 申请人:合肥国镜仪器科技有限公司
- 申请人地址:230000 安徽省合肥市高新区习友路3333号中国(合肥)国际智能语音产业园研发中心楼301室
- 发明人: 合肥国镜仪器科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种冷场电子源的清洁方法及清洁系统 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311800729.2 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN117443858B |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | B08B7/00 |
| 权利人 | 合肥国镜仪器科技有限公司 |
| 发明人 | 方小伟; 郑哲 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区习友路3333号中国(合肥)国际智能语音产业园研发中心楼301室 |
摘要文本
本发明属于电子显微镜与聚焦离子束领域，具体涉及一种冷场电子源的清洁方法及清洁系统，方法包括：使激光通过准直和聚焦引导照射至位于真空腔内的电子源的针尖上，使吸附在针尖上的污染物发生光致解吸；实时测量电子源的针尖温度，针尖温度超过阈值时，调低激光的功率密度至针尖温度不大于阈值；使用CCD相机实时监测激光在电子源的针尖上的聚焦情况，激光未聚焦在针尖上时，调节用于引导照射激光的光路组件，使得激光聚焦在针尖上，CCD相机位于针尖远离聚焦所用透镜的一侧。本发明的清洁方法，不会损伤电子源，电子源的寿命长。
专利主权项内容
1.一种冷场电子源的清洁方法，其特征在于，所述方法包括：使激光引导照射至电子源的针尖(9)上，使吸附在所述针尖(9)上的污染物发生光致解吸，所述电子源位于真空腔(10)内，所述引导照射包括依次进行的准直和聚焦；实时测量所述电子源的针尖温度，所述针尖温度超过预设的阈值时，调低所述激光的功率密度至所述针尖温度不大于所述预设的阈值；使用CCD相机(5)实时监测所述激光在所述电子源的针尖(9)上的聚焦情况，所述激光未聚焦在所述针尖(9)上时，调节用于引导照射所述激光的光路组件，使得所述激光聚焦在所述针尖(9)上，所述CCD相机(5)位于所述针尖(9)远离聚焦所用透镜的一侧；所述激光在照射到所述CCD相机(5)上的过程中，所述激光未被障碍物遮挡时，所述CCD相机(5)上的成像为第一激光斑图像，所述激光被障碍物遮挡时，所述CCD相机(5)上的成像为第二激光斑图像，所述聚焦情况的监测方法为：所述激光聚焦在所述针尖(9)上时，相比所述第一激光斑图像，所述第二激光斑图像缺失的部分包括与所述针尖(9)的形状相对应的形状，同时，所述第一激光斑图像具有边缘部和中部，缺失的与所述针尖(9)的形状相对应的形状位于所述第一激光斑图像的中部。