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NMOS晶体管制备方法及NMOS晶体管
申请人信息
- 申请人:合肥晶合集成电路股份有限公司
- 申请人地址:230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
- 发明人: 合肥晶合集成电路股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | NMOS晶体管制备方法及NMOS晶体管 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311696955.0 |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN117410184A |
| 公开日 | 2024/1/16 |
| IPC主分类号 | H01L21/336 |
| 权利人 | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 发明人 | 宋富冉; 施平; 周儒领 |
| 地址 | 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号 |
摘要文本
本申请涉及一种NMOS晶体管制备方法及NMOS晶体管，首先提供衬底，衬底内包括阵列排布的多个有源区及用于限定多个有源区的沟槽，沟槽的内侧壁上形成有衬垫氧化层，于沟槽内形成顶面低于衬垫氧化层的顶面的填充层，至少经由沟槽的内侧壁向有源区内依次形成第一预非晶化阻挡层、第二预非晶化阻挡层，并在第一预非晶化阻挡层和第二预非晶化阻挡层之间进行P型离子注入，去除填充层后，于沟槽内形成覆盖衬垫氧化层的缓冲隔离层，缓解后续形成隔离结构时的生长应力，并于沟槽内形成顶面不低于衬垫氧化层的顶面的隔离结构，再于有源区内形成NMOS晶体管，提高了NMOS的阈值电压，改善了NMOS晶体管的反窄沟道效应。
专利主权项内容
1.一种NMOS晶体管制备方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底内包括阵列排布的多个有源区及用于限定所述多个有源区的沟槽，所述沟槽的内侧壁上形成有衬垫氧化层；于所述沟槽内形成顶面低于所述衬垫氧化层的顶面的填充层；至少经由所述沟槽的内侧壁向所述有源区内形成第一预非晶化阻挡层后，对所述有源区执行P型离子注入工艺，再于所述有源区内形成第二预非晶化阻挡层，注入的P型离子位于所述第一预非晶化阻挡层与所述第二预非晶化阻挡层之间；去除所述填充层后，于所述沟槽内形成覆盖所述衬垫氧化层的缓冲隔离层；于所述沟槽内形成顶面不低于所述衬垫氧化层的顶面的隔离结构后，于所述有源区内形成NMOS晶体管。