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抛光设备
申请人信息
- 申请人:铭扬半导体科技(合肥)有限公司
- 申请人地址:230088 安徽省合肥市高新区望江西路5515号汇景城市中心C栋1810
- 发明人: 铭扬半导体科技(合肥)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 抛光设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323056761.2 |
| 申请日 | 2023/11/13 |
| 公告号 | CN220427961U |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | B24B37/10 |
| 权利人 | 铭扬半导体科技(合肥)有限公司 |
| 发明人 | 黄家剑; 陶秀红 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区望江西路5515号汇景城市中心C栋1810 |
摘要文本
本实用新型公开了一种抛光设备，抛光设备包括：基板，基板上设置有相互间隔的抛光盘和储液件；抛光液臂，抛光液臂设置于基板，抛光液臂设置有气液混合阀，气液混合阀内设置有气体进口、液体进口和出口，气体进口用于与高压气体选择性地相连通，液体进口与储液件或纯水中的一个选择性地相连通，出口分别与气体进口和液体进口相连通，出口位于抛光盘的上方且与抛光盘相对间隔设置。由此，通过气液混合阀对抛光液进行雾化，并且使被雾化后的抛光液相抛光盘表面喷洒，从而使较少的抛光液也能均匀地喷洒至抛光盘表面，这样可以在保证抛光设备的抛光正常的前提下，提高抛光液的利用率，从而有效地减少抛光液的用量，进而可以降低抛光设备的抛光成本。
专利主权项内容
1.一种抛光设备，其特征在于，包括：基板(20)，所述基板(20)上设置有相互间隔的抛光盘(21)和储液件(24)；抛光液臂(30)，所述抛光液臂(30)设置于所述基板(20)，所述抛光液臂(30)设置有气液混合阀(31)，所述气液混合阀(31)内设置有气体进口(32)、液体进口(33)和出口(34)，所述气体进口(32)用于与高压气体选择性地相连通，所述液体进口(33)与所述储液件(24)或纯水中的一个选择性地相连通，所述出口(34)分别与所述气体进口(32)和所述液体进口(33)相连通，所述出口(34)位于所述抛光盘(21)的上方且与所述抛光盘(21)相对间隔设置。。来源：马 克 团 队