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抛光设备的检测装置和抛光设备
申请人信息
- 申请人:铭扬半导体科技(合肥)有限公司
- 申请人地址:230088 安徽省合肥市高新区望江西路5515号汇景城市中心C栋1810
- 发明人: 铭扬半导体科技(合肥)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 抛光设备的检测装置和抛光设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323061016.7 |
| 申请日 | 2023/11/14 |
| 公告号 | CN220427942U |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | B24B29/02 |
| 权利人 | 铭扬半导体科技(合肥)有限公司 |
| 发明人 | 黄家剑; 陶秀红 |
| 地址 | 安徽省合肥市高新区望江西路5515号汇景城市中心C栋1810 |
摘要文本
本实用新型公开了一种抛光设备的检测装置和抛光设备，抛光设备的检测装置包括：主框架；水槽件，水槽件内设置有多个片盒；相机组件，相机组件间隔设置于水槽件上方；模块匹配器，模块匹配器与相机组件电连接。由此，通过相机组件直接对水槽件内进行拍摄，并且通过模块匹配器采用图像模板匹配方法对相机组件拍摄到的图片进行识别，模块匹配器可以识别出片槽边缘的位置和内部的料片，进而确定出片盒中每个片槽的位置，根据料片和片盒中片槽的相对位置，来识别出料片在片槽内的有无，如果片槽中存在料片，根据料片的角度识别出料片是否倾斜，这样不仅可以使检测的准确度更高，不受水槽件中水的波纹的影响，而且还可以提升检测效率。
专利主权项内容
1.一种抛光设备的检测装置，其特征在于，包括：主框架(10)；水槽件(20)，所述水槽件(20)设置于所述主框架(10)，所述水槽件(20)内设置有多个片盒(21)，所述片盒(21)中设置有片槽(211)，所述片槽(211)用于放置料片(22)，所述水槽件(20)的上侧敞开设置；相机组件(30)，所述相机组件(30)设置于所述主框架(10)，所述相机组件(30)间隔设置于所述水槽件(20)上方且与所述水槽件(20)内部相对应，以用于拍摄所述片槽(211)内的料片(22)的位置；模块匹配器，所述模块匹配器与所述相机组件(30)电连接。