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一种低温面均匀吸附的低温泵
申请人信息
- 申请人:合肥通用机械研究院有限公司; 合肥通用环境控制技术有限责任公司; 通用机械关键核心基础件创新中心(安徽)有限公司
- 申请人地址:230031 安徽省合肥市蜀山区长江西路888号
- 发明人: 合肥通用机械研究院有限公司; 合肥通用环境控制技术有限责任公司; 通用机械关键核心基础件创新中心(安徽)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种低温面均匀吸附的低温泵 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311867475.6 |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN117685193A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | F04B37/08 |
| 权利人 | 合肥通用机械研究院有限公司; 合肥通用环境控制技术有限责任公司; 通用机械关键核心基础件创新中心(安徽)有限公司 |
| 发明人 | 郎嘉琪; 程立权; 孔晓鸣; 商允恒; 高启明; 许敬德 |
| 地址 | 安徽省合肥市蜀山区长江西路888号; 安徽省合肥市高新区西四路9号(机电产业园); 安徽省合肥市蜀山区长江西路888号 |
摘要文本
本发明属于低温泵技术领域，具体涉及一种低温面均匀吸附的低温泵。包括泵体、制冷机和低温阵列，所述泵体上具有主空气进口，环绕主空气进口设置前级防辐射屏蔽筒，制冷机的冷头设置在所述泵体内，低温阵列设置在冷头上。低温阵列由低温面箱和低温面组组成，低温面组由若干低温面板间隔设定距离固定在冷头上构成；泵体内还设有后级防辐射屏蔽筒，后级防辐射屏蔽筒的直径大于前级防辐射屏蔽筒，其两者末端交错形成泵体内的次空气进口，次空气进口连接气体导流斜板朝向所述低温面箱设置。本发明提供的低温泵能避免抽吸的气体分子大量被吸附在顶端低温面板，导致顶端低温面板过快饱和，出现抽速明显下降的现象。
专利主权项内容
1.一种低温面均匀吸附的低温泵，包括带泵壳(10)的泵体、连接泵体的制冷机(20)和设置在所述泵体内部的低温阵列，所述泵壳(10)上具有主空气进口(11)，其特征在于，环绕所述主空气进口(11)设置前级防辐射屏蔽筒(51)，所述制冷机(20)的冷头和冷缸设置在所述泵体内部并伸入所述前级防辐射屏蔽筒(51)内，所述低温阵列设置在所述冷头上，包括一个朝向所述冷缸设置并罩设在所述冷缸外侧的低温面箱(40)和一个连接所述冷头的低温面组(30)，所述低温面组(30)由若干低温面板(31)间隔设定距离固定在所述冷头上构成；所述冷缸还连接一个朝向所述主空气进口(11)设置的后级防辐射屏蔽筒(52)，所述后级防辐射屏蔽筒(52)的直径大于所述前级防辐射屏蔽筒(51)的直径，所述后级防辐射屏蔽筒(52)和前级防辐射屏蔽筒(51)的末端交错形成泵体内的次空气进口(12)，所述次空气进口(12)连接气体导流斜板(60)，所述气体导流斜板(60)的出风口朝向所述低温阵列设置。