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具有抑制杂模波纹功能的谐振器、滤波器以及成型方法
申请人信息
- 申请人:合肥芯投微电子有限公司
- 申请人地址:230088 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试验区高新区望江西路800号创新产业园一期D8栋-2295
- 发明人: 合肥芯投微电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 具有抑制杂模波纹功能的谐振器、滤波器以及成型方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311789028.3 |
| 申请日 | 2023/12/22 |
| 公告号 | CN117713738A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | H03H9/25 |
| 权利人 | 合肥芯投微电子有限公司 |
| 发明人 | 郑晶晶; 邱鲁岩; 智树芳; 王旭; 朱敏 |
| 地址 | 安徽省合肥市中国(安徽)自由贸易试验区高新区望江西路800号创新产业园一期D8栋-2295 |
摘要文本
本发明公开了具有抑制杂模波纹功能的谐振器、滤波器以及成型方法，包括上叉指区域和下叉指区域，上叉指区域和下叉指区域均包括间隔并排设置的多个叉指条和设置于叉指条一端且与所有叉指条相连通的汇流条区，上叉指区域的多个叉指条和下叉指区域的多个叉指条间隔交叉设置，上叉指区域和下叉指区域中均划分有功能区D，功能区D上设置有基于化学反应得到的金属化合物膜层；该具有抑制杂模波纹功能的谐振器、滤波器以及成型方法通过改变功能区反射特性，达到优化衰减杂模传播作用。
专利主权项内容
1.具有抑制杂模波纹功能的谐振器，其特征在于，从下到上依次设置的晶圆基底(6)和叉指金属层(7)，所述叉指金属层(7)包括上叉指区域(1)和下叉指区域(2)，上叉指区域(1)和下叉指区域(2)均包括间隔并排设置的多个叉指条(3)和设置于叉指条(3)一端且与所有叉指条(3)相连通，上叉指区域(1)的多个叉指条(3)和下叉指区域(2)的多个叉指条(3)间隔交叉设置，上叉指区域(1)和下叉指区域(2)中均划分有功能区D，功能区D中的叉指条(3)上部基于化学反应得到覆盖的金属化合物膜层(5)。 微信公众号马克 数据网