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一种石英基板生产用可控制涂胶厚度的光刻涂胶工艺
申请人信息
- 申请人:安徽禾臣新材料有限公司
- 申请人地址:238200 安徽省马鞍山市经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房
- 发明人: 安徽禾臣新材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种石英基板生产用可控制涂胶厚度的光刻涂胶工艺 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311552221.5 |
| 申请日 | 2023/11/17 |
| 公告号 | CN117369214A |
| 公开日 | 2024/1/9 |
| IPC主分类号 | G03F7/16 |
| 权利人 | 安徽禾臣新材料有限公司 |
| 发明人 | 李加海; 高伟东; 曹荣府 |
| 地址 | 安徽省马鞍山市经济开发区姥下河东路标准化厂房1号厂房 |
摘要文本
本发明公开了一种石英基板生产用可控制涂胶厚度的光刻涂胶工艺，属于光刻涂胶技术领域。一种石英基板生产用可控制涂胶厚度的光刻涂胶工艺，包括以下步骤：S1：石英基板进行预处理，吸附到真空吸盘上；S2：控制石英基板旋转，向石英基板的中心滴加光刻胶，在设定时间段内采用变速的方式旋转。本发明对石英基板进行两次涂胶，在第一次涂胶中，采用第一阶段变速匀胶，能够快速将石英基板上的光刻胶进行铺平，同时防止石英基板边缘出现网纹，保证石英基板第一层胶膜的平整性和均匀性，利用红外线微米测量仪检测第一层胶膜的厚度。 来源：专利查询网
专利主权项内容
1.一种石英基板生产用可控制涂胶厚度的光刻涂胶工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1：石英基板进行预处理，吸附到真空吸盘上；S2：控制石英基板旋转，向石英基板的中心滴加光刻胶，在设定时间段内采用变速的方式旋转，测量膜厚是否在设定范围内，清洗背面后烘干；S3：石英基板再次吸附到真空吸盘上，向石英基板的中心滴加光刻胶，先使用第一速度旋转，再使用第二速度旋转，采用排气压力控厚，清洗背面后烘干。。来源：百度搜索马克数据网