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三脉冲激光诱导击穿光谱系统及信号增强方法

申请号: CN202311526577.1
申请人: 山东大学
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 三脉冲激光诱导击穿光谱系统及信号增强方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311526577.1
申请日 2023/11/15
公告号 CN117571687A
公开日 2024/2/20
IPC主分类号 G01N21/71
权利人 山东大学
发明人 卢鹏; 卢景琦
地址 山东省济南市历下区经十路17923号

摘要文本

本发明公开了三脉冲激光诱导击穿光谱系统及信号增强方法,第一脉冲激光器通过第一平凸透镜向样品台的样品发出第一束激光脉冲;所述样品在第一束激光脉冲的激发下产生第一等离子体;第二脉冲激光器产生第二束激光脉冲,所述第二束激光脉冲通过分束镜后,分成能量相等的两束激光脉冲,能量相等的两束激光脉冲分别从两侧同时对第一等离子体进行加热;增强电荷耦合器件和光栅光谱仪,采集不同焦平面位置对应的等离子体信号的强度和相对标准差,选择信号强度大于设定阈值且信号相对标准差最小的焦平面位置,作为再加热激光聚焦的最佳焦平面位置,在最佳焦平面位置下,完成对样品的分析。

专利主权项内容

1.三脉冲激光诱导击穿光谱系统,其特征是,包括:第一脉冲激光器,所述第一脉冲激光器通过第一平凸透镜向样品台的样品发出第一束激光脉冲;所述样品在第一束激光脉冲的激发下产生第一等离子体;第二脉冲激光器,所述第二脉冲激光器产生第二束激光脉冲,所述第二束激光脉冲通过分束镜后,分成能量相等的两束激光脉冲:第一再加热激光脉冲和第二再加热激光脉冲,能量相等的两束激光脉冲分别从两侧同时对第一等离子体进行加热;所述第一等离子体在第一再加热激光脉冲的激发下产生第二等离子体,所述第一等离子体在第二再加热激光脉冲的激发下产生第三等离子体;增强电荷耦合器件和光栅光谱仪,采集不同焦平面位置对应的再加热等离子体信号的强度和相对标准差,选择信号强度大于设定阈值且信号相对标准差最小的焦平面位置,作为再加热激光聚焦的最佳焦平面位置,在最佳焦平面位置下,完成对样品的分析。