← 返回列表
一种具有异质结构的BZN/BMN介电调谐复合薄膜及其制备方法
申请人信息
- 申请人:齐鲁工业大学(山东省科学院)
- 申请人地址:250353 山东省济南市长清区大学路3501号
- 发明人: 齐鲁工业大学(山东省科学院)
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种具有异质结构的BZN/BMN介电调谐复合薄膜及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311228288.3 |
| 申请日 | 2023/9/22 |
| 公告号 | CN117328046A |
| 公开日 | 2024/1/2 |
| IPC主分类号 | C23C18/12 |
| 权利人 | 齐鲁工业大学(山东省科学院) |
| 发明人 | 石锋; 安忠芬; 张灵翠; 于迎波; 刘方元; 徐越; 沈燕; 赵金博 |
| 地址 | 山东省济南市西部新城大学科技园 |
摘要文本
本发明提供了一种具有异质结构的BZN/BMN介电调谐复合薄膜及其制备方法，所述复合薄膜包括基片和基片上层叠的以BZN/BMN为周期单元重复排列的复合层，所述复合层中包括2～3个周期单元；所述多层复合的介电可调薄膜在1.5MV/cm的偏置电场下介电调谐率≥60％，介电损耗≤0.006。本发明提供的复合薄膜综合了BZN薄膜和BMN薄膜的性能特点，在较低偏置电压下介电调谐率高，兼具较小的介电损耗和较强的性能稳定性。此外，本发明使用溶胶‑凝胶法制备上述复合薄膜，在制备BZN薄膜和BMN薄膜时，使用硫酸代替有高毒性和易挥发性的氢氟酸，降低了对设备材料要求和对环境的污染，还节省了制备的工序和成本；使用酒石酸代替柠檬酸，有利于溶胶稳定性的提高，使制备出的薄膜性能更优。 数据由马 克 数 据整理
专利主权项内容
1.一种具有异质结构的BZN/BMN介电调谐复合薄膜，其特征在于，所述复合薄膜包括基片和基片上层叠的以BZN/BMN为周期单元重复排列的复合层，所述复合层中包括2～3个周期单元；所述多层复合的介电可调薄膜在1.5MV/cm的偏置电场下介电调谐率≥60％，介电损耗≤0.006。。马 克 数 据 网