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真空泵转子运动间隙的监测方法、控制方法及真空泵

申请号: CN202311077085.9
申请人: 东莞市大成智能装备有限公司; 常州市大成真空技术有限公司; 深圳市大成精密设备股份有限公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 真空泵转子运动间隙的监测方法、控制方法及真空泵
专利类型 发明申请
申请号 CN202311077085.9
申请日 2023/8/24
公告号 CN117345631A
公开日 2024/1/5
IPC主分类号 F04C28/28
权利人 东莞市大成智能装备有限公司; 常州市大成真空技术有限公司; 深圳市大成精密设备股份有限公司
发明人 乔中涛; 丁德甲; 尚允坤; 朱瑞长; 范庭瑞
地址 广东省东莞市松山湖园区南山路6号2栋2单元101室; 江苏省常州市新北区龙虎塘信息大道6号2幢; 广东省深圳市宝安区福永街道和平社区福园一路3号福发工业园A5栋第一层、第四层

摘要文本

本发明涉及真空泵技术领域,具体涉及一种能够监测真空泵转子运动间隙的方法。第一测温液通入真空泵的壳体中,第二测温液通入转子中,通过获取第一测温液的通入温度和流出温度,获取第二测温液的通入温度和流出温度,获知第一测温液和第二测温液的温度变化情况,根据测温液温度变化能够获取到真空泵中转子和壳体的温度变化,进而监测真空泵转子运动间隙的变化。

专利主权项内容

1.一种真空泵转子运动间隙的监测方法,其特征在于,包括:向真空泵壳体的壳体流道中通入流量为Q的第一测温液,构建所述第一测温液的第一测温液单元通入所述壳体流道的温度关于时间t的函数W(t),构建所述第一测温液单元从所述壳体流道流出的温度关于时间t的函数F(t+t),其中t为第一测温液单元在所述壳体流道中通过的时间;00向所述真空泵转子的转子流道中通入流量为q的第二测温液,构建所述第二测温液的第二测温单元通入所述转子流道的温度关于时间t的函数w(t),构建所述第二测温单元从所述转子流道流出的温度关于时间t的函数f(t+t),其中t为所述第二测温液单元在所述转子流道中通过的时间;11计算F(t+t)与W(t)的差值A,A=F(t+t)-W(t),计算f(t+t)与w(t)的差值a,a=f(t+t)-w(t);0011判断转子运动间隙变化情况:当所述差值A和所述差值a中一个增大,另一个保持稳定或者增大,则判定转子运动间隙减小;当所述差值A和所述差值a均保持稳定,则判定转子运动间隙未变化;当所述差值A和所述差值a中一个减小,另一个保持稳定或减小,则判定转子运动间隙增大。