← 返回列表
超薄氮化铝单晶复合衬底及其制备方法和紫外发光器件
申请人信息
- 申请人:松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
- 申请人地址:523808 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋
- 发明人: 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 超薄氮化铝单晶复合衬底及其制备方法和紫外发光器件 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311691709.6 |
| 申请日 | 2023/12/8 |
| 公告号 | CN117637442A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | H01L21/02 |
| 权利人 | 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司 |
| 发明人 | 袁冶; 王新强; 卢同心; 万文婷; 曹家康; 李泰; 罗巍 |
| 地址 | 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋; 广东省东莞市松山湖园区总部二路2号1栋306室 |
摘要文本
一种超薄氮化铝单晶复合衬底及其制备方法和紫外发光器件，属于复合材料制备领域。该制备方法包括：用氧等离子体处理c轴取向的蓝宝石衬底，以在蓝宝石衬底的表面形成改性层；在改性层上沉积厚度为30nm‑100nm的多晶氮化铝膜层，高温退火以使多晶氮化铝重结晶，冷却，获得超薄氮化铝单晶复合衬底；通过氧等离子体对c轴取向的蓝宝石衬底表面进行处理以及控制多晶氮化铝膜层的厚度，使得超薄的多晶氮化铝膜层在高温退火重结晶后，不仅能够获得无黑点且界面稳定性佳的高质量单晶氮化铝膜层，而且获得的单晶氮化铝膜层的应力状态为张应力，张应力状态有利于实现后续中紫外/深紫外波段发光二极管的外延制备。
专利主权项内容
1.一种超薄氮化铝单晶复合衬底的制备方法，其特征在于，包括：用氧等离子体处理c轴取向的蓝宝石衬底，以在所述蓝宝石衬底的表面形成改性层；在所述改性层上沉积多晶氮化铝膜层，高温退火以使多晶氮化铝重结晶形成单晶氮化铝膜层，冷却，获得超薄氮化铝单晶复合衬底；其中，所述多晶氮化铝膜层的厚度为30nm-100nm。 关注微信公众号马克数据网