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一种用于直写光刻的LED光源
申请人信息
- 申请人:东莞锐视光电科技有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市东城街道东城振兴路333号1栋245室
- 发明人: 东莞锐视光电科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于直写光刻的LED光源 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311645826.9 |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN117518741A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 东莞锐视光电科技有限公司 |
| 发明人 | 王华; 陈志特; 吴中海 |
| 地址 | 广东省东莞市东城街道东城振兴路333号1栋245室 |
摘要文本
本发明公开了一种用于直写光刻的LED光源，属光刻机技术领域，其特征在于：LED光源包括支架和支架上的旋转机构，以及机械手和冷却腔，旋转机构的转盘上安装有至少2组LED灯珠，在LED光源上连接有冷却装置，旋转机构为水平面内或垂直面内的旋转，带动转盘上LED灯珠进行旋转运动，其中一组LED灯珠打开光源后旋转到工作位置进行曝光，另外一组LED灯珠离开工作位置关闭光源，机械手将关闭光源的LED灯珠夹持到冷却腔进行风冷，风冷后，在开始工作前再由机械手放置到转盘上，两组LED灯珠交替工作，减少发热；辅以水冷和荧光粉散热，使得转盘对LED灯珠进行降温散热。
专利主权项内容
1.一种用于直写光刻的LED光源，其特征在于：LED光源包括支架和支架上的旋转机构，旋转机构的转盘上安装有至少2组呈180°夹角布置的LED灯珠，在LED光源上连接有冷却装置；所述的旋转机构为水平面内的旋转，凸轮分割器带动转盘上LED灯珠进行旋转运动，其中一组LED灯珠打开光源后旋转到工作位置进行曝光，另外一组LED灯珠离开工作位置关闭光源，两组LED灯珠交替工作，减少发热；所述的LED光源还包括机械手和冷却腔，机械手将关闭光源的LED灯珠夹持到冷却腔进行风冷，风冷后，在开始工作前再由机械手放置到转盘上；所述的冷却装置为水冷，通入到转盘上进行降温散热。 来自：