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非极性面氮化铝单晶复合衬底的制备方法、声表面波器件及其制备方法
申请人信息
- 申请人:松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市大朗镇屏东路333号
- 发明人: 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 非极性面氮化铝单晶复合衬底的制备方法、声表面波器件及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311687063.4 |
| 申请日 | 2023/12/8 |
| 公告号 | CN117758368A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | C30B29/40 |
| 权利人 | 松山湖材料实验室; 广东中民工业技术创新研究院有限公司 |
| 发明人 | 王新强; 袁冶; 卢同心; 万文婷; 曹家康; 李泰; 罗巍 |
| 地址 | 广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋; 广东省东莞市松山湖园区总部二路2号1栋306室 |
摘要文本
一种非极性面氮化铝单晶复合衬底的制备方法、声表面波器件及其制备方法，属于声表面波器件领域。非极性面氮化铝单晶复合衬底的制备方法包括：在r晶面取向的蓝宝石衬底的表面沉积氮化铝多晶薄膜，随后连续进行多次高温退火，获得a面氮化铝单晶薄膜；其中，高温退火包括在保持内部气压不变的前提下依次进行的升温处理、保温处理以及降温处理；通过震荡退火方式并结合每次高温退火时的气氛变化，有利于获得高质量a面氮化铝单晶薄膜，能够应用于声表面波器件的制备，有效提高声表面波器件的良率及性能。
专利主权项内容
1.一种非极性面氮化铝单晶复合衬底的制备方法，其特征在于，包括：在r晶面取向的蓝宝石衬底的表面沉积氮化铝多晶薄膜，随后连续进行多次高温退火，获得a面氮化铝单晶薄膜；其中，所述高温退火包括在保持内部气压不变的前提下依次进行的升温处理、保温处理以及降温处理；所述升温处理包括：在纯N气氛中升温至预设退火温度，所述预设退火温度为1700-1800℃；2所述保温处理包括：在N与O的混合气氛中，在所述预设退火温度下保温15-300min，其中所述混合气氛中的N的体积百分比大于O的体积百分比；2222所述降温处理包括：在纯N气氛中自然冷却至1000℃。2