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一种射频线性等离子发生装置
申请人信息
- 申请人:东莞市晟鼎精密仪器有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市长安镇乌沙社区振伟路6号二楼
- 发明人: 东莞市晟鼎精密仪器有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种射频线性等离子发生装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311488902.X |
| 申请日 | 2023/11/9 |
| 公告号 | CN117545158A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | H05H1/24 |
| 权利人 | 东莞市晟鼎精密仪器有限公司 |
| 发明人 | 孙俊; 王扬帆; 王伦 |
| 地址 | 广东省东莞市长安镇乌沙社区振伟路6号二楼 |
摘要文本
东莞市晟鼎精密仪器有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明属于等离子放射装置技术领域，特别涉及一种射频线性等离子发生装置，包括由主体和进气板组成的容置空间，主体包括相匹配的第一主体和第二主体，容置空间内设置有陶瓷管和设置于陶瓷管内的电极，第一主体和第二主体组合后与陶瓷管之间围合形成有进气流道和与进气流道连通的放电腔，放电腔的底部区域设置有倒角，第一主体和第二主体的下端部之间形成有与放电腔连通的出气狭缝。相对于现有技术，本发明通过巧妙的结构设计，利用有限元仿真，结合仿真结果优化放电内部结构及放电间隙，保持电离区域的等离子浓度，达到降低静电的目的；采用等静压成型工艺形成陶瓷介质，精度高，陶瓷表面无气泡，放电均匀。。来自马-克-数-据
专利主权项内容
1.一种射频线性等离子发生装置，其特征在于：包括由主体和进气板组成的容置空间，所述主体包括相匹配的第一主体和第二主体，所述容置空间内设置有陶瓷管和设置于所述陶瓷管内的电极，所述进气板上设置有气管接头和可供高压结构通过的通孔，所述高压结构与所述电极电连接，所述高压结构还连接有射频连接器，所述第一主体和所述第二主体组合后形成有匀气槽，且所述第一主体和所述第二主体组合后与所述陶瓷管之间围合形成有进气流道和与所述进气流道连通的放电腔，工艺气体从所述气管接头进入后经过所述匀气槽和进气流道后到达所述放电腔，所述放电腔的底部区域设置有倒角，所述第一主体和所述第二主体的下端部之间形成有与所述放电腔连通的出气狭缝。