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光学薄膜厚度模型的建立方法及相关设备

申请号: CN202311771544.3
申请人: 东莞市钜欣电子有限公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 光学薄膜厚度模型的建立方法及相关设备
专利类型 发明申请
申请号 CN202311771544.3
申请日 2023/12/21
公告号 CN117436355A
公开日 2024/1/23
IPC主分类号 G06F30/27
权利人 东莞市钜欣电子有限公司
发明人 刘义军; 黎明; 李鹏
地址 广东省东莞市清溪镇青湖东路55号力合紫荆科创中心研发楼2栋701室

摘要文本

东莞市钜欣电子有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本申请涉及机器学习技术领域,公开了一种光学薄膜厚度模型的建立方法及相关设备。所述方法包括:对多个样品薄膜进行反射光偏振状态分析,得到偏振状态数据;对多个样品薄膜进行反射光谱扫描,得到反射光谱数据;对多个样品薄膜进行薄膜厚度测量,得到薄膜厚度标签数据;将偏振状态数据和反射光谱数据输入初始光学薄膜厚度模型进行薄膜厚度预测,得到薄膜厚度预测数据;对薄膜厚度预测数据和薄膜厚度标签数据进行误差计算,得到模型预测误差数据,并根据模型预测误差数据对初始光学薄膜厚度模型进行模型参数优化,得到目标光学薄膜厚度模型,本申请实现了光学薄膜厚度模型的自适应学习并提高了薄膜厚度检测的准确率。

专利主权项内容

1.一种光学薄膜厚度模型的建立方法,其特征在于,所述光学薄膜厚度模型的建立方法包括:对多个样品薄膜进行反射光偏振状态分析,得到每个样品薄膜的偏振状态数据;对所述多个样品薄膜进行反射光谱扫描,得到每个样品薄膜的反射光谱数据;对所述多个样品薄膜进行薄膜厚度测量,得到每个样品薄膜的薄膜厚度标签数据;将所述偏振状态数据和所述反射光谱数据输入预置的初始光学薄膜厚度模型进行薄膜厚度预测,得到每个样品薄膜的薄膜厚度预测数据;对所述薄膜厚度预测数据和所述薄膜厚度标签数据进行误差计算,得到模型预测误差数据,并根据所述模型预测误差数据对所述初始光学薄膜厚度模型进行模型参数优化,得到目标光学薄膜厚度模型。