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磁控溅射镀膜过程中进行活动挡板自动调节的方法、存储介质和磁控溅射设备
申请人信息
- 申请人:广东银度光能科技有限公司
- 申请人地址:523132 广东省东莞市麻涌镇麻涌中心大道32号801室
- 发明人: 广东银度光能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 磁控溅射镀膜过程中进行活动挡板自动调节的方法、存储介质和磁控溅射设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311373457.2 |
| 申请日 | 2023/10/20 |
| 公告号 | CN117660903A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 广东银度光能科技有限公司 |
| 发明人 | 赵明增 |
| 地址 | 广东省东莞市麻涌镇麻涌中心大道32号801室 |
摘要文本
广东银度光能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了磁控溅射镀膜过程中进行活动挡板自动调节的方法、存储介质和磁控溅射设备。该方法为：A.在曲面玻璃位置点a1到达镀膜点位之前，把活动挡板的伸缩度调节为a1所对应的伸缩度R1；B.重复执行如下B1直至曲面玻璃完成镀膜；B1.检测到曲面玻璃位置点ai到达镀膜点位，就根据下一位置点ai+1和位置点ai所分别对应的伸缩度Ri+1和Ri之间的变化量，把活动挡板的伸缩度从Ri调节至Ri+1。该方法第一方面，能够自动调节活动挡板的遮挡程度，更换不同弯曲程度的曲面玻璃时无需生产人员手动调整挡板，第二方面，在镀膜过程中能够自动调节活动挡板对靶材溅射范围的遮挡程度，所镀膜层各处厚度较为均匀，适用于曲面玻璃镀膜过程中各处所需遮挡程度不同的镀膜场景。。
专利主权项内容
1.采用计算机程序控制磁控溅射镀膜过程中进行活动挡板自动调节的方法，其特征是依次执行以下步骤：P1.获得需镀膜的曲面玻璃由前至后的n个离散的位置点所分别对应的挡板伸缩度，n≥2，其中，第i个位置点记为a，其所对应的挡板伸缩度记为R，1≤i≤n；ii在对曲面玻璃进行镀膜的过程中执行如下步骤：A.在曲面玻璃移动至其第一个位置点a到达镀膜点位之前，把活动挡板的伸缩度调节为该位置点a所对应的伸缩度R<<<<B.重复执行如下步骤B1直至i+1＝n则曲面玻璃完成镀膜；B1.检测到曲面玻璃移动至其第i个位置点a到达镀膜点位，就根据下一位置点a和当前到达镀膜点位的位置点a所分别对应的伸缩度R和R之间的变化量，把活动挡板的伸缩度从R调节至R<<i+1<i+1<<i+1