曲面玻璃镀膜的磁控溅射靶材跟随镀膜方法、存储介质和设备
申请人信息
- 申请人:广东银度光能科技有限公司
- 申请人地址:523132 广东省东莞市麻涌镇麻涌中心大道32号801室
- 发明人: 广东银度光能科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 曲面玻璃镀膜的磁控溅射靶材跟随镀膜方法、存储介质和设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311373465.7 |
| 申请日 | 2023/10/20 |
| 公告号 | CN117660904A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 广东银度光能科技有限公司 |
| 发明人 | 徐伯永 |
| 地址 | 广东省东莞市麻涌镇麻涌中心大道32号801室 |
摘要文本
广东银度光能科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种曲面玻璃镀膜的磁控溅射靶材跟随镀膜方法、存储介质和设备。A.得到需镀膜的曲面玻璃的镀膜标定曲线，沿该曲线标有n个离散的基准点；B.确定各个基准点ai所分别对应的溅射基准状态Ti，Ti指：基准点ai处的法线与靶材的竖向移动路线相交于Pi点，Pi点到基准点ai的距离恰好等于预设靶基距Dp；C.在曲面玻璃实际移动至状态T1之前，控制靶材竖向移动至P1点并正对第一个基准点a1；D.执行D1直至曲面玻璃完成镀膜：D1.一旦检测到曲面玻璃实际移动至状态Ti，就根据曲面玻璃的移动速度、Pi+1、Pi之间的位置变化量以及基准点ai+1和基准点ai分别所对应的法线之间的角度变化量，控制靶材从Pi点处移动至Pi+1点处且从正对基准点ai转动至正对基准点ai+1。
专利主权项内容
1.一种采用计算机程序控制曲面玻璃镀膜的磁控溅射靶材跟随镀膜方法，其特征是，包括依次执行的以下步骤：A.得到需镀膜的曲面玻璃的镀膜标定曲线，该镀膜标定曲线系根据曲面玻璃的所需镀膜的曲面形状确定，沿镀膜标定曲线由前往后依次标有n个离散的基准点；B.用镀膜标定曲线来模拟曲面玻璃，让镀膜标定曲线沿着预设的移动镀膜轨迹作移动以进行移动镀膜模拟，确定镀膜标定曲线移动过程中各个基准点a所分别对应的溅射基准状态T，其中，1≤i≤n，该溅射基准状态T含义为：镀膜标定曲线的基准点a处的法线与靶材的竖向移动路线相交于P点，P点到基准点a的距离恰好等于预设靶基距D；iiiiiiipC.在曲面玻璃实际移动至第一个基准点a所对应的溅射基准状态T之前，控制靶材竖向移动至P点并正对所模拟的处于溅射基准状态T的曲面玻璃的镀膜标定曲线的第一个基准点a；11111D.执行如下步骤D1，直至曲面玻璃完成镀膜 : D1.一旦检测到曲面玻璃实际移动至溅射基准状态T，就根据曲面玻璃的移动速度、下一基准点a和靶材当前正对的基准点a所分别对应的相交点P、P之间的位置变化量以及下一基准点a和基准点a分别所对应的法线之间的角度变化量，控制靶材从P点处移动至P点处且从正对所模拟的处于溅射基准状态T的曲面玻璃的镀膜标定曲线的第i个基准点a转动至正对所模拟的处于溅射基准状态T的曲面玻璃的镀膜标定曲线的第i+1个基准点a。ii+1ii+1ii+1iii+1iii+1i+1