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晶圆搬运机械手
申请人信息
- 申请人:新启航半导体有限公司
- 申请人地址:528527 广东省佛山市高明区荷城街道海田路88号23栋102室
- 发明人: 新启航半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 晶圆搬运机械手 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311310874.2 |
| 申请日 | 2023/10/10 |
| 公告号 | CN117410226A |
| 公开日 | 2024/1/16 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 新启航半导体有限公司 |
| 发明人 | 武辉军; 王启林; 何豪文; 林猷强; 辛嘉伟 |
| 地址 | 广东省佛山市高明区荷城街道海田路88号23栋102室 |
摘要文本
新启航半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种晶圆搬运机械手，包括载架、翻盘、动力组件和搬运组件，载架转动设置于架体上，载架连接有偏转组件，载架上开设有两个容槽，翻盘对立的两侧分别设置有可嵌入容槽的套体，翻盘通过活动组件与载架活动连接，活动组件包括转动设置在载架中心的轴体，轴体上连接有至少一个凸轮，凸轮与翻盘相接触，动力组件配置在载架上，用于驱动翻盘枢转，搬运组件包括移动架和驱动移动沿翻盘滑动的第一伸缩源，移动架上设置有两组衬板，两组衬板上分别设置有若干吸头，若干吸头分别连接有吸管，可产生负压吸取晶圆；本发明晶圆放置在指定位置或保持一定角度在加工工位，实现了对晶圆的多角度搬运移动，有效适配加工需要和搬运需要。
专利主权项内容
1.晶圆搬运机械手，其特征在于，包括：载架，转动设置于架体上，所述载架连接有偏转组件，所述偏转组件用于调节载架在架体上的水平偏转角度，所述载架上开设有两个容槽；翻盘，其对立的两侧分别设置有可嵌入容槽的套体，所述翻盘通过活动组件与载架活动连接，所述活动组件包括转动设置在载架中心的轴体，所述轴体上连接有至少一个凸轮，所述凸轮与翻盘相接触；动力组件，配置在载架上，用于驱动翻盘枢转；搬运组件，包括移动架和驱动移动沿翻盘滑动的第一伸缩源，所述移动架上设置有两组衬板，两组所述衬板上分别设置有若干吸头，若干吸头分别连接有吸管，可产生负压吸取晶圆。