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成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质
申请人信息
- 申请人:中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
- 申请人地址:511370 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
- 发明人: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311689964.7 |
| 申请日 | 2023/12/11 |
| 公告号 | CN117392242A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | G06T7/80 |
| 权利人 | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) |
| 发明人 | 庞水全; 张秋镇; 罗军; 王之哲 |
| 地址 | 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号 |
摘要文本
中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：通过根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量，然后根据第一SEM图像和基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量，最后根据第一运动量、第二运动量和成像模型，对成像系统进行标定。由于本申请实施例中无需针对成像系统不同的放大倍数更换不同的定制化高精度标定模板，而是根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定参数，从而对成像系统进行标定，因此简化了标定操作，提高了操作的灵活性，省时省力，节约了成本。 微信公众号马克 数据网
专利主权项内容
1.一种成像系统的标定方法，其特征在于，所述方法包括：根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前，所述SEM的成像系统采集的第一SEM图像，确定施加至所述样品台在世界坐标系下的第一运动量；根据所述第一SEM图像和第二SEM图像，确定在图像坐标系下的第二运动量；所述第二SEM图像为基于所述第一运动量控制所述样品台运动后所述成像系统采集的图像；根据所述第一运动量、所述第二运动量和成像模型，对所述成像系统进行标定。 来源：百度搜索马克数据网