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一种掩模缺陷检测装置及方法
申请人信息
- 申请人:中山大学; 深圳综合粒子设施研究院
- 申请人地址:510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 发明人: 中山大学; 深圳综合粒子设施研究院
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种掩模缺陷检测装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311297954.9 |
| 申请日 | 2023/10/8 |
| 公告号 | CN117348338A |
| 公开日 | 2024/1/5 |
| IPC主分类号 | G03F1/84 |
| 权利人 | 中山大学; 深圳综合粒子设施研究院 |
| 发明人 | 周舟; 邓淑营; 付锦江; 骆钧尧; 邢振江; 李焜阳 |
| 地址 | 广东省广州市海珠区新港西路135号; 广东省深圳市光明区新湖街道圳园路268号3号楼3-6层 |
摘要文本
中山大学; 深圳综合粒子设施研究院获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种掩模缺陷检测装置及方法，其中检测装置包括具有真空腔的壳体；用于放置待检测掩模版的掩模驱动组件；照明系统，包括振镜组件和波带片；调节振镜组件的振动方式可控制反射光束到波带片上的扫描轨迹，并形成一定的图案；离轴波带片，设于掩模版的反射光路上并用于接收来自掩模版的反射光并成像在像平面处；探测器，设于像平面处且用于接收离轴波带片的成像光束。本发明的目的在于克服掩模缺陷检测装置很难适应多种不同的极紫外光源的不足，本发明可以适用于多种不同的极紫外光参数下的光源，也适应于不同的掩模版图案，避免出现掩模缺陷检测装置对某一种光源的过度依赖，提高了装置使用的灵活性。
专利主权项内容
1.一种掩模缺陷检测装置，其特征在于，包括：壳体(1)，所述壳体(1)包括真空腔，以及开设在所述壳体(1)上且用于极紫外光射入所述真空腔的入射口(11)；掩模驱动组件(2)，设于所述真空腔内且用于放置待检测的掩模版(100)；照明系统，包括振镜组件(3)，所述振镜组件(3)包括用于反射极紫外光的反射镜(31)，以及连接所述反射镜(31)且用于改变反射光束的光线方向和位置的驱动装置(32)；所述照明系统还包括波带片(4)，所述波带片(4)位于所述振镜组件(3)和所述掩模驱动组件(2)之间、且用于将反射光束聚焦至待检测的掩模版(100)上形成光斑；调节所述振镜组件(3)的振动方式可控制反射光束扫描所述波带片(4)上，并形成一定的填充图案；离轴波带片(5)，设于掩模版(100)的反射光路上并用于接收来自所述掩模版(100)的反射光并成像在像平面处；探测器(6)，设于所述像平面处且用于接收所述离轴波带片(5)的成像光束。