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一种基于硫系材料的激光加工方法及集成光子器件
申请人信息
- 申请人:中山大学
- 申请人地址:510275 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 发明人: 中山大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于硫系材料的激光加工方法及集成光子器件 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311687972.8 |
| 申请日 | 2023/12/11 |
| 公告号 | CN117381146A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | B23K26/00 |
| 权利人 | 中山大学 |
| 发明人 | 李朝晖; 李焱; 姚舜禹; 李玉茹; 陈鸿飞; 胡振 |
| 地址 | 广东省广州市海珠区新港西路135号 |
摘要文本
中山大学获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种基于硫系材料的激光加工方法及集成光子器件，涉及集成光子芯片加工技术领域。该基于硫系材料的激光加工方法包括：获取预设尺寸的介质基底，并清洗所述介质基底；在所述介质基底的表面制备均匀致密的硫化物薄膜；根据预设加工图案获得预设能量分布图案的激光光斑；根据所述预设加工图案生成激光光斑扫描参数；通过所述激光光斑依据所述光斑扫描参数对所述硫化物薄膜进行无刻蚀激光氧化加工，获得硫系集成光子器件。该基于硫系材料的激光加工方法可以实现显著简化集成光子芯片加工流程，提高光子芯片加工效率的技术效果。
专利主权项内容
1.一种基于硫系材料的激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤：获取预设尺寸的介质基底，并清洗所述介质基底；在所述介质基底的表面制备均匀致密的硫化物薄膜；根据预设加工图案获得预设能量分布图案的激光光斑；根据所述预设加工图案生成激光光斑扫描参数；通过所述激光光斑依据所述光斑扫描参数对所述硫化物薄膜进行无刻蚀激光氧化加工，获得硫系集成光子器件。 马 克 数 据 网