← 返回列表
一种适用于非偏振光的等离激元电极光电探测器
申请人信息
- 申请人:广东工业大学
- 申请人地址:510000 广东省广州市番禺区小谷围街广州大学城外环西路100号
- 发明人: 广东工业大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种适用于非偏振光的等离激元电极光电探测器 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311756149.8 |
| 申请日 | 2023/12/19 |
| 公告号 | CN117650190A |
| 公开日 | 2024/3/5 |
| IPC主分类号 | H01L31/102 |
| 权利人 | 广东工业大学 |
| 发明人 | 刘文杰; 郎钰文; 吴润祺; 傅开祥; 秦菲菲; 王云才; 秦玉文 |
| 地址 | 广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号 |
摘要文本
广东工业大学获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种适用于非偏振光的等离激元电极光电探测器。器件包括底部的衬底；置于所述衬底上方的半导体层；置于所述半导体层上方的圆环型叉指电极阵列，所述圆环型叉指阵列电极通过阵列间的电极连接线进行电连接；置于所述圆环型叉指阵列电极左右两侧的长方形电极，两侧方形电极分别构成探测器的正极和负极，用于为探测器施加偏置电压，两侧正负电极通过电极连接线与圆环型叉指阵列电极相连接，圆环电极阵列与电极连接线构成圆环型叉指电极阵列结构。本发明通过调节圆环电极的内圆和外圆半径以及排列形式，以此实现器件对入射光的偏振不敏感效果，提高入射光的吸收效率以及探测器的带宽。
专利主权项内容
1.一种适用于非偏振光的等离激元电极光电探测器，其特征在于，包括：衬底、半导体层、电极层、增透层；所述电极层包括圆环型叉指阵列电极、左右正负电极；所述圆环型叉指阵列电极包括了圆环电极与圆环电极连接线。