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一种晶圆加工中双臂机器人二组合设备故障调度方法
申请人信息
- 申请人:广东工业大学
- 申请人地址:510080 广东省广州市越秀区东风东路729号
- 发明人: 广东工业大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆加工中双臂机器人二组合设备故障调度方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311635957.9 |
| 申请日 | 2023/11/30 |
| 公告号 | CN117484521A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | B25J11/00 |
| 权利人 | 广东工业大学 |
| 发明人 | 朱清华; 张光希; 侯艳 |
| 地址 | 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号 |
摘要文本
本发明公开了一种晶圆加工中双臂机器人二组合设备故障调度方法。首先构建双臂机器人二组合设备系统，该系统包括第一组合设备、第二组合设备及真空锁；利用第一组合设备和第二组合设备对晶圆进行加工，并确定第一组合设备或第二组合设备是否发生故障；构建线性规划模型和非线性规划模型，若第一组合设备发生故障，则利用线性规划模型求解第一组合设备的动作时刻，若第二组合设备发生故障，则利用非线性规划模型求解第二组合设备的动作时刻；最后根据线性规划模型或非线性规划模型求解得到的组合设备的动作时刻，得到晶圆的调度顺序，基于所述调度顺序，将晶圆运输回真空锁。有效地解决加工模块故障时机器人难以调度的问题，减少晶圆的损耗。
专利主权项内容
1.一种晶圆加工中双臂机器人二组合设备故障调度方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：构建双臂机器人二组合设备系统，所述双臂机器人二组合设备系统包括第一组合设备及第二组合设备；S2：利用所述第一组合设备和第二组合设备对晶圆进行加工，并确定第一组合设备或第二组合设备是否发生故障；S3：构建线性规划模型和非线性规划模型，若第一组合设备发生故障，则利用线性规划模型求解第一组合设备的动作时刻，若第二组合设备发生故障，则利用非线性规划模型求解第二组合设备的动作时刻，所述动作时刻表示卸载晶圆、移动和装载晶圆的时刻；S4：根据线性规划模型或非线性规划模型求解得到的组合设备的动作时刻，得到晶圆的调度顺序。。 （更多数据，详见马克数据网）