← 返回列表
等离子体电源反馈电路、反馈方法以及等离子体电源
申请人信息
- 申请人:广东省麦思科学仪器创新研究院
- 申请人地址:510535 广东省广州市黄埔区新瑞路16号之一1号楼502房1号楼601房
- 发明人: 广东省麦思科学仪器创新研究院
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 等离子体电源反馈电路、反馈方法以及等离子体电源 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311487491.2 |
| 申请日 | 2023/11/8 |
| 公告号 | CN117526727A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | H02M5/10 |
| 权利人 | 广东省麦思科学仪器创新研究院 |
| 发明人 | 李绍兵 |
| 地址 | 广东省广州市黄埔区新瑞路16号之一1号楼502房1号楼601房 |
摘要文本
广东省麦思科学仪器创新研究院获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种等离子体电源反馈电路、反馈方法以及等离子体电源，等离子体电源反馈电路包括控制电路、第一电子开关、第二电子开关、平均功率反馈电路以及差异反馈电路，控制电路具有第一输入端、第二输入端、第一输出端和第二输出端；控制电路的第一输出端和第二输出端分别通过第一电子开关和第二电子开关连接至调理电路的控制端，平均功率反馈电路的两个输入端和差异反馈电路的两个输入端均分别连接至空心线圈的两端；控制电路的第一输入端和第二输入端分别连接至平均功率反馈电路的输出端和差异反馈电路的输出端。本发明实施例可以保证输出功率稳定和输出正负功率的对称。。来自：马 克 团 队
专利主权项内容
1.一种等离子体电源反馈电路，所述等离子体电源反馈电路应用于等离子体电源中，所述等离子体电源包括射频电源、调理电路以及空心线圈，所述射频电源通过所述调理电路连接至空心线圈的两端，其特征在于，所述等离子体电源反馈电路包括控制电路、第一电子开关、第二电子开关、平均功率反馈电路以及差异反馈电路，所述控制电路具有第一输入端、第二输入端、第一输出端和第二输出端；所述第一输出端和第二输出端分别通过第一电子开关和第二电子开关连接至所述调理电路的控制端，所述平均功率反馈电路的两个输入端和差异反馈电路的两个输入端均分别连接至所述空心线圈的两端，分别用于采集所述空心线圈的平均电压和空心线圈正负电压的差值；所述第一输入端和第二输入端分别连接至所述平均功率反馈电路的输出端和差异反馈电路的输出端，以根据所述平均电压或/和差值控制所述第一电子开关和第二电子开关的占空比或/和频率、或/和导通时间。