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一种椭偏仪偏移预警方法、装置及存储介质
申请人信息
- 申请人:粤芯半导体技术股份有限公司
- 申请人地址:510000 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
- 发明人: 粤芯半导体技术股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种椭偏仪偏移预警方法、装置及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311632440.4 |
| 申请日 | 2023/12/1 |
| 公告号 | CN117329978A |
| 公开日 | 2024/1/2 |
| IPC主分类号 | G01B11/06 |
| 权利人 | 粤芯半导体技术股份有限公司 |
| 发明人 | 倪桂彬; 薛英武 |
| 地址 | 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号 |
摘要文本
粤芯半导体技术股份有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供一种椭偏仪偏移预警方法、装置及存储介质，包括：制取标片中心有第一量测区域，以及在所述第一量测区域的四周有多个第二量测区域的目标标片；其中，所述第一量测区域与任一第二量测区域的第一距离小于任取两两相邻第二量测区域的第二距离；根据所述第一距离和所述第二距离制定的投射顺序，将待测光斑依次投射至所述目标标片上的所述第一量测区域和所述第二量测区域上，得到量测数据；根据所述量测数据，得到每个量测区域的拟合优度，并根据得到的多个拟合优度与预设的阈值，对椭偏仪的偏移进行预警；其中，所述量测区域包括：所述第一量测区域和所述多个第二量测区域；采用本发明能够有效提高椭偏仪的维护效率。
专利主权项内容
来自马-克-数-据 1.一种椭偏仪偏移预警方法，其特征在于，包括：制取标片中心有第一量测区域，以及在所述第一量测区域的四周有多个第二量测区域的目标标片；其中，所述第一量测区域与任一第二量测区域的第一距离小于任取两两相邻第二量测区域的第二距离；根据所述第一距离和所述第二距离制定的投射顺序，将待测光斑依次投射至所述目标标片上的所述第一量测区域和所述第二量测区域上，得到量测数据；根据所述量测数据，得到每个量测区域的拟合优度，并根据得到的多个拟合优度与预设的阈值，对椭偏仪的偏移进行预警；其中，所述量测区域包括：所述第一量测区域和所述多个第二量测区域。