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一种MincroLED尖锥状结构制备方法

申请号: CN202311389057.0
申请人: 夸泰克(广州)新材料有限责任公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种MincroLED尖锥状结构制备方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311389057.0
申请日 2023/10/25
公告号 CN117423783A
公开日 2024/1/19
IPC主分类号 H01L33/00
权利人 夸泰克(广州)新材料有限责任公司
发明人 陈维恕; 黎微铭
地址 广东省广州市黄埔区新瑞路6号1栋A413房(仅限办公)

摘要文本

夸泰克(广州)新材料有限责任公司获取“一种透气窗帘布”专利技术,本发明属于半导体材料领域,具体涉及一种MicroLED尖锥状结构制备方法, 包括:S1、制备尖锥状凹穴结构,使尖锥状结构朝下,并在尖锥状凹穴结构上旋涂半导体材料层;S2、高温收缩固化半导体材料层,形成具有半导体材料尖锥结构的中间体;S3、翻转所述中间体180°,使得所述半导体材料尖锥结构朝上;S4、利用干式非等向刻蚀,获得最终的MicroLED尖锥状结构。本发明的MicroLED尖锥状结构制备方法,通过将半导体材料压入尖锥状凹穴,利用重力原理(液体往低处流),确保高温固化式尖锥结构仍然能保持形状、角度完整,不会出现现有技术中的坍塌现象,有利于提升成品率,满足使用要求。

专利主权项内容

1.一种MicroLED尖锥状结构制备方法, 包括:S1、制备尖锥状凹穴结构,使尖锥状结构朝下,并在尖锥状凹穴结构上旋涂半导体材料层;S2、高温收缩固化半导体材料层,形成具有半导体材料尖锥结构的中间体;S3、翻转所述中间体180°,使得所述半导体材料尖锥结构朝上;S4、利用干式非等向刻蚀,获得最终的MicroLED尖锥状结构。