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一种版图通孔缺陷检测方法、装置及自动补强方法
申请人信息
- 申请人:合芯科技有限公司; 合芯科技(苏州)有限公司
- 申请人地址:510799 广东省广州市黄埔区瑞吉二街45号101、301房
- 发明人: 合芯科技有限公司; 合芯科技(苏州)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种版图通孔缺陷检测方法、装置及自动补强方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202310725735.X |
| 申请日 | 2023/6/16 |
| 公告号 | CN117350936A |
| 公开日 | 2024/1/5 |
| IPC主分类号 | G06T7/00 |
| 权利人 | 合芯科技有限公司; 合芯科技(苏州)有限公司 |
| 发明人 | 景画; 周舒悦; 甘赟雲 |
| 地址 | 广东省广州市黄埔区瑞吉二街45号101、301房; 江苏省苏州市苏州高新区科技城学森路9号 |
摘要文本
合芯科技有限公司; 合芯科技(苏州)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种版图通孔缺陷检测方法、装置及自动补强方法，版图通孔缺陷检测方法包括：获取目标版图中第一布线网络和第二布线网络内包含的金属图形；分别获取第一布线网络和第二布线网络内每个金属图形内与上下不相邻金属层内的金属图形存在的交叠区域并进行空间校验，在通过空间校验的区域内生成中间层金属图形，提取生成的中间层金属图形与上下相邻金属层内的金属图形存在交叠的每个第一交叠区域；提取布线网络内每个金属图形与上下相邻金属层内的金属图形存在的第二交叠区域，对每个第一和每个第二交叠区域进行通孔缺陷校验，输出存在通孔缺陷的第一交叠区域和第二交叠区域。本发明可用于准确且快速的对版图中的通孔缺陷进行检测和补强。
专利主权项内容
1.一种版图通孔缺陷检测方法，其特征在于，包括 : 获取目标版图中第一布线网络和第二布线网络内包含的所有金属图形；分别获取第一布线网络和第二布线网络内每个金属图形内与上下不相邻金属层内的金属图形存在的交叠区域，对每个交叠区域进行空间校验，在通过所述空间校验的每个交叠区域内生成中间层金属图形，提取生成的中间层金属图形与上下相邻金属层内的金属图形存在交叠的每个第一交叠区域；分别提取所述第一布线网络和所述第二布线网络内每个金属图形与上下相邻金属层内的金属图形存在的第二交叠区域，对每个第一交叠区域和每个第二交叠区域进行通孔缺陷校验，输出存在通孔缺陷的第一交叠区域和第二交叠区域；其中，当交叠区域内不存在通孔且所述交叠区域内存在允许放置通孔的空间时，判定交叠区域存在通孔缺陷。