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蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法
申请人信息
- 申请人:深圳市振华微电子有限公司
- 申请人地址:518057 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南四道034号高新工业村W1-A座2层、3层、4层、W1-B座1层、2层、3层、R1-A座4层
- 发明人: 深圳市振华微电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311653413.5 |
| 申请日 | 2023/12/5 |
| 公告号 | CN117637959A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | H01L33/38 |
| 权利人 | 深圳市振华微电子有限公司 |
| 发明人 | 李育峰; 宋泽润; 马勇; 张晶 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南四道034号高新工业村W1-A座2层、3层、4层、W1-B座1层、2层、3层、R1-A座4层 |
摘要文本
深圳市振华微电子有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供了一种蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法，包括以下步骤：S1、激光划切沟槽；S2、表面金属图形化；S21、对电阻区域进行保护，利用光刻胶及S iO2层形成复合膜系对电阻区域进行保护；S3、将蓝宝石衬底粘贴在UV膜表面，裂片后，产品装载在溅射夹具上进行侧面金属溅射；S4、加厚产品的侧面金属溅射层的金属膜层。采用本发明，通过激光切割与裂片相结合，实现了蓝宝石衬底的裂片单元化；切割边缘崩边小，切割面平整，有效降低了激光切割的热影响区，在成膜前进行划切，避免了膜层的烧蚀现象；先溅射后加厚金属膜层，保证了膜层厚度及电性能，降低了工艺加工难度，保障侧面金属化膜层的附着力及稳定性。。微信公众号专利查询网
专利主权项内容
1.一种蓝宝石衬底单元化及侧面金属化制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、激光划切沟槽，采用激光刻蚀工艺，在蓝宝石衬底表面按照产品单元尺寸划切沟槽；S2、表面金属图形化，对激光划切后的蓝宝石衬底进行擦拭，去除激光熔渣并清洗后，溅射所需金属膜系，光刻出所需产品图形，剥离剩余的金属膜层，实现表面金属图形化；S3、裂片、装载夹具及金属溅射，将蓝宝石衬底粘贴在UV膜表面，所划切的沟槽面朝上，用裂片机沿着沟槽进行裂片单元化，然后将裂片后的产品装载在溅射夹具上，用惰性气体吹扫，并清洗后进行侧面金属溅射；S4、加厚产品的侧面金属溅射层的金属膜层，完成蓝宝石衬底单元化及侧面金属化。