← 返回列表
光源调控方法、装置、设备及存储介质
申请人信息
- 申请人:鹏城实验室
- 申请人地址:518000 广东省深圳市南山区兴科一街2号
- 发明人: 鹏城实验室
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 光源调控方法、装置、设备及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311697407.X |
| 申请日 | 2023/12/12 |
| 公告号 | CN117406564A |
| 公开日 | 2024/1/16 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 鹏城实验室 |
| 发明人 | 曹子峥; 王广彪; 周延; 皮雅稚; 余少华 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区兴科一街2号 |
摘要文本
鹏城实验室取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及光源调控技术领域，公开了一种光源调控方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：将泵浦光源发射的高强度激光输入至高次谐波产生腔，获得目标极紫外光；基于目标极紫外光对泵浦光源对应的光源模场进行空间分布调控，获得泵浦光源对应的光源模场数据；基于光源模场数据建立光源基本数据库；基于光源基本数据库进行光源掩模联合优化，以根据掩模版优化参数进行极紫外光调控。本发明基于对泵浦光源对应的光源模场进行调控获得的光源模场数据建立光源基本数据库，并基于光源基本数据库进行光源掩模联合优化，以根据掩模版优化参数进行极紫外光调控，解决了EUV光刻中的EUV光源难调控，进而导致光刻分辨率较低的技术问题。
专利主权项内容
1.一种光源调控方法，其特征在于，所述光源调控方法包括：将泵浦光源发射的高强度激光输入至高次谐波产生腔，获得目标极紫外光；基于所述目标极紫外光对所述泵浦光源对应的光源模场进行空间分布调控，获得所述泵浦光源对应的光源模场数据；基于所述光源模场数据建立所述目标极紫外光对应的光源基本数据库；基于所述光源基本数据库进行光源掩模联合优化，以根据掩模版优化参数进行极紫外光调控。