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一种团簇束流传输装置及团簇催化剂制备设备
申请人信息
- 申请人:南方科技大学
- 申请人地址:518055 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号
- 发明人: 南方科技大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种团簇束流传输装置及团簇催化剂制备设备 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311345980.4 |
| 申请日 | 2023/10/17 |
| 公告号 | CN117535637A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 南方科技大学 |
| 发明人 | 王天悦; 郭庆; 古芯宁 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区桃源街道学苑大道1088号 |
摘要文本
南方科技大学取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种团簇束流传输装置及团簇催化剂制备设备，其中团簇束流传输装置包括透镜组及线性八极杆，透镜组包括若干个沿第一方向布置的第一透镜，第一透镜的中心轴沿第一方向延伸，第一透镜具有沿第一方向贯穿的第一通过腔，第一通过腔用于供团簇束流通过，第一透镜用于对团簇束流进行聚焦；线性八极杆位于透镜组在第一方向上的一端，线性八极杆的中心轴与第一透镜的中心轴重合，线性八极杆用于接收并传输经过聚焦的团簇束流。团簇束流在一部分的传输路径上通过透镜组来传输，在其余部分的传输路径上通过传输效率更高、团簇束流损耗更小的线性八极杆来传输，能够有效减少团簇束流在传输过程中的损耗，提升团簇束流的传输效率。
专利主权项内容
1.一种团簇束流传输装置，用于输送团簇束流，所述团簇束流沿第一方向传输，其特征在于，所述团簇束流传输装置包括：透镜组，包括若干个沿第一方向布置的第一透镜，所述第一透镜的中心轴沿第一方向延伸，所述第一透镜具有沿第一方向贯穿的第一通过腔，所述第一通过腔用于供团簇束流通过，所述第一透镜用于对团簇束流进行聚焦；线性八极杆，位于所述透镜组在第一方向上的一端，所述线性八极杆的中心轴与所述第一透镜的中心轴重合，所述线性八极杆用于接收并传输经过聚焦的团簇束流。