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一种低温测试流道制冷方法及装置
申请人信息
- 申请人:深圳市诺泰芯装备有限公司
- 申请人地址:518100 广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧
- 发明人: 深圳市诺泰芯装备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种低温测试流道制冷方法及装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311545448.7 |
| 申请日 | 2023/11/20 |
| 公告号 | CN117330940A |
| 公开日 | 2024/1/2 |
| IPC主分类号 | G01R31/28 |
| 权利人 | 深圳市诺泰芯装备有限公司 |
| 发明人 | 王体 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙井万丰华丰创业园厂房1栋四层D座南侧 |
摘要文本
深圳市诺泰芯装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开一种低温测试流道制冷装置，涉及半导体和工业自动化领域。该低温测试流道制冷装置，制冷液通过制冷机供液输入管进入到该装置内部后进行分流，分别进入到A组低温测试流道和B组低温测试流道中，然后两组分流的制冷液分别通过A组测试流道回液管和B组测试流道回液管汇总，然后从下端进入到A组低温预温流道装置内部，然后向上通过A组至B组供液输入管流至B组低温预温流道装置底端中，然后从B组低温预温流道装置顶端的制冷机回液输出管流出，回流至制冷机系统中，实现冷却液循环，从而解决了传统的生产测试所制造的低温环境采用液氮制冷所存在的设计制造成本高、存储运输管理成本高和安全性差的问题。 微信公众号马克 数据网
专利主权项内容
1.一种低温测试流道制冷方法，通过制冷系统将导热液串行输送至垂直制冷放置的AB两组预温区流道与测试区流道，利用热管原理将导热液的温度充分传送AB两组预温区流道与测试区流道，实现温度一致性；制冷装置是分别在垂直放置AB两组预温区流道与测试区流道表面布置芯片产品定向轨道，当产品定向轨道入口依次进入，利用产品自身重力作用，产品一颗挨着一颗进入预温区定向轨道进行低温预温，经过一段时间低温浸泡预温；根据先进先出的原则，使每颗产品温度充分与环境温度一致，预温区定向轨道末端的分离机构将会释放一颗产品进入测试区定向轨道，产品在低温测试区轨道内进行低温测试。