一种采用射频铺助成膜和高频脉冲偏压的制膜装置及工艺

专利主权项内容

1.一种采用射频铺助成膜和高频脉冲偏压的制膜装置，其特征在于：包括控制模块、原料模块、加工模块和成品检测模块，所述控制模块位于最前端，所述成品检测模块位于尾端，所述原料模块和加工模块依次排列在控制模块的后方，且多个模块之间相互连通；所述原料模块包括检测单元、监控单元、调节单元和送料单元；所述检测单元包括液位计、温度传感器、湿度传感器，采用超声波液位计，采用直流24V供电，量程范围为0-1.5米，温度传感器的检测范围为-15°～125°，测温准确度为±0.5℃，供电电压范围为3-30V，湿度传感器相对湿度精度为±2％，温度精度为±0.2℃，工作时平均电流在0.7-1.3uA，供电电压为2.7V-5.5V，所述超声波液位计、温度传感器和湿度传感器均安装在原料模块的内部，对制膜液进行检测。