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一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法

申请号: CN202311730278.X
申请人: 深圳市恒运昌真空技术有限公司
更新日期: 2026-03-09

摘要文本

深圳市恒运昌真空技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本申请公开了一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法,所述有源阻抗匹配网络包括直流电源V、开关管Q、电容C、电感L、第一二极管D1、第二二极管D2及控制电路;控制电路的输出端连接开关管Q的栅极,控制电路用于控制所述有源阻抗匹配网络的等效输入阻抗等于所述特征阻抗。本发明通过提供的控制策略调整开关管的占空比,从而调节电容输出电压及流入动态负载的电流,使得等效输入阻抗与特征阻抗相等,能够在腔体负载发生变化时实时进行阻抗匹配,本发明相比起无源阻抗匹配网络,实现了调节速度快、调节范围大、平滑性更好的效果。

专利主权项内容

1.一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络,其特征在于,包括直流电源V、开关管Q、电容C、电感L、第一二极管D、第二二极管D及控制电路;12其中,电容C的第一端连接射频电源的特征阻抗;所述直流电源V的正极端与开关管Q的漏极连接,直流电源V的负极端分别与第一二极管D的正极端和电容C的第二端连接;第一二极管D的负极端分别与开关管Q的源极和电感L的第一端连接;电感L的第二端与第二二极管D的正极端连接;第二二极管D的负极端与电容C的第一端连接;1122所述控制电路的输出端连接开关管Q的栅极,所述控制电路用于控制所述有源阻抗匹配网络的等效输入阻抗等于所述特征阻抗。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种基于Buck电路的有源阻抗匹配网络及控制方法
专利类型 发明申请
申请号 CN202311730278.X
申请日 2023/12/15
公告号 CN117411459A
公开日 2024/1/16
IPC主分类号 H03H11/28
权利人 深圳市恒运昌真空技术有限公司
发明人 姚志毅; 林桂浩; 林伟群; 乐卫平
地址 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301