阻抗匹配阵列、匹配方法、射频电源及等离子体射频系统

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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及一种阻抗匹配阵列、匹配方法、射频电源及等离子体射频系统，属于射频电源技术领域，解决阻抗匹配问题；在阻抗匹配阵列的输入端和输出端之间包括逐级并联的多个电抗集成；每一级的电抗集成包括电抗单元、输入管、输出管和串联管；其中，本级输入管连接在阻抗匹配阵列的输入端与本级电抗单元输入端之间；本级输出管连接在本级电抗单元输出端与阻抗匹配阵列的输出端之间；本级串联管连接在本级电抗单元输出端与下一级电抗单元输入端之间；通过控制各级电抗集成中输入管、输出管和串联管的通路或断路状态，形成电抗组合，实现阻抗匹配。本发明可通过电抗集成中各开关管的切换，快速进行阻抗匹配。