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一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质
申请人信息
- 申请人:深圳市精石光掩膜技术有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区蚝业路20号20-1厂房303
- 发明人: 深圳市精石光掩膜技术有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311673338.9 |
| 申请日 | 2023/12/7 |
| 公告号 | CN117389356A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | G05D23/20 |
| 权利人 | 深圳市精石光掩膜技术有限公司 |
| 发明人 | 周学文; 李周坤 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道和平社区蚝业路20号20-1厂房303 |
摘要文本
深圳市精石光掩膜技术有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质，采集光掩膜基板的甩胶温度时序数据，对甩胶温度时序数据进行差错删除和缺失填补后，得到完备甩胶温度时序数据，将完备甩胶温度时序数据矩阵化得到甩胶温度数据矩阵；根据甩胶温度数据矩阵确定甩胶温度协方差矩阵，进而确定初始甩胶温度特征矩阵；根据初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子，进而确定甩胶温度特征矩阵；根据甩胶温度特征矩阵和完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据，通过低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数确定感光胶温度预测值；通过感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间的比较结果对感光胶温度进行控制，以解决感光胶温度预测精度低的技术问题。
专利主权项内容
1.一种甩胶温度控制方法，其特征在于，包括如下步骤：采集光掩膜基板进行甩胶时的甩胶温度数据，进而确定甩胶温度时序数据，对所述甩胶温度时序数据进行差错删除，得到无差甩胶温度时序数据；对所述无差甩胶温度时序数据进行缺失填补，进而确定完备甩胶温度时序数据，将所述完备甩胶温度时序数据矩阵化，得到甩胶温度数据矩阵；根据所述甩胶温度数据矩阵确定甩胶温度协方差矩阵，通过所述甩胶温度协方差矩阵确定初始甩胶温度特征矩阵；根据所述初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子，通过所述甩胶温度差错因子确定甩胶温度特征矩阵；根据所述甩胶温度特征矩阵和所述完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据，根据所述低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数进行感光胶温度预测，得到感光胶温度预测值；将所述感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间进行比较，根据比较结果对感光胶温度进行控制。