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一种带谐振腔体声波滤波器多工器及其制备方法
申请人信息
- 申请人:深圳新声半导体有限公司
- 申请人地址:518049 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801
- 发明人: 深圳新声半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种带谐振腔体声波滤波器多工器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311785376.3 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN117478100A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | H03H9/70 |
| 权利人 | 深圳新声半导体有限公司 |
| 发明人 | 魏彬; 邹洁; 唐供宾 |
| 地址 | 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801 |
摘要文本
深圳新声半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供了一种带谐振腔体声波滤波器多工器及其制备方法，属于滤波器技术领域。包括衬底层和设置在所述衬底层表面的带谐振腔体声波滤波单元，所述带谐振腔体声波滤波单元的个数≥2，所述带谐振腔体声波滤波单元包括依次层叠设置的支撑层、下电极、压电层和上电极，所述支撑层位于所述衬底层的表面，所述支撑层的上表面与所述下电极的下表面形成空腔；所述带谐振腔体声波滤波单元在空间位置上相对垂直。本发明限定了带谐振腔体声波滤波单元的个数≥2，将多颗滤波器集成在一颗芯片中，纵向堆叠多颗滤波器可一次完成流片测试，节约成本，且缩短产品开发周期、节约光罩数量、减小芯片面积，进一步降低生产成本，同时能够提高器件稳定性。
专利主权项内容
1.一种带谐振腔体声波滤波器多工器，其特征在于，包括衬底层和设置在所述衬底层表面的带谐振腔体声波滤波单元，所述带谐振腔体声波滤波单元的个数≥2，所述带谐振腔体声波滤波单元在空间位置上相对垂直；每个带谐振腔体声波滤波单元包括依次层叠设置的支撑层、下电极、压电层和上电极，所述支撑层位于所述衬底层的表面；每个带谐振腔体声波滤波单元中设置有空腔，以所述衬底层为内，单侧按照由内到外的延伸顺序第n个带谐振腔体声波滤波单元中的空腔由第n个带谐振腔体声波滤波单元中下电极、支撑层和底层结构围成，n为1时所述底层结构为衬底层，n≥2时所述底层结构为第n-1个带谐振腔体声波滤波单元中的下电极。。微信公众号马克数据网