声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器

专利主权项内容

1.一种声表面波谐振器装置，包括：压电基板；叉指换能器，设置于所述压电基板上，且包括第一叉指电极结构和第二叉指电极结构，所述第一叉指电极结构包括彼此相连的第一叉指电极和第一叉指电极引出部，所述第二叉指电极结构包括彼此相连的第二叉指电极和第二叉指电极引出部；所述第一叉指电极和所述第二叉指电极沿第一方向延伸，且沿第二方向排列；第一温度补偿层，设置于所述压电基板上，且包括主体部和凸出部，所述主体部覆盖所述叉指换能器的侧壁及其远离所述压电基板一侧的表面，所述凸出部在垂直于所述压电基板的主表面的第三方向上朝向所述压电基板凸出于所述主体部，且在平行于所述压电基板的主表面的方向上被所述压电基板环绕，其中所述压电基板包括第一压电部、第二压电部和第三压电部，所述第一压电部的第一压电表面和所述第二压电部的第二压电表面分别接触所述第一叉指电极结构的第一电极表面和所述第二叉指电极结构的第二电极表面，并分别沿着所述第一电极表面和所述第二电极表面连续延伸，其中所述第三压电部在所述第三方向上与所述第一温度补偿层的所述凸出部交叠；且所述第一压电部的高度和所述第二压电部的高度大于所述第三压电部的高度。